薄膜的厚度及涂層的高度測量用什么方法比較好

薄膜的厚度及涂層的高度測量用什么方法比較好？隨著微納米技術(shù)與精密加工技術(shù)的發(fā)展，對物體的表面參數(shù)測量越來越重要，傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡技術(shù)與掃描電鏡技術(shù)已經(jīng)不能滿足工業(yè)開發(fā)對樣品進(jìn)行大范圍、高精度、高速度、定量測量的需求，三維表面形貌儀由于其獨(dú)特的性能，可以解決這些傳統(tǒng)技術(shù)對三維表面形貌測量的限定，薄膜的厚度及涂層的高度測量用表面形貌儀可以輕松解決，越來越多行業(yè)開始使用該產(chǎn)品進(jìn)行質(zhì)量控制與研發(fā)，三維表面形貌儀已經(jīng)成為研究材料表面特性不可缺少的工具之一，薄膜的厚度及涂層的高度測量用該產(chǎn)品測量也能得到清晰的圖像顯示和得到很好的分析。

薄膜的厚度及涂層的高度測量原理非常簡單，利用白光的反射原理，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。請看下圖：

目前主要的應(yīng)用方向有：

半導(dǎo)體技術(shù)：關(guān)鍵尺寸，晶圓平整度，涂層厚度

醫(yī)學(xué)：藥片，醫(yī)學(xué)植入物，生物組織

微電子學(xué)：LED薄片，電子基墊，印刷電路

光學(xué)：透鏡，光柵，衍射透鏡，球面鏡

摩擦學(xué)：體積損耗，材料損耗，表面腐蝕

汽車行業(yè)：涂料與聚合物，罩光漆涂層，玻璃窗

通用材料：碳纖維，陶瓷，高分子材料

其他：皮膚，牙齒，紙張，紡織品，微通道