半導(dǎo)體表面粗糙度測(cè)量用三維表面形貌儀

半導(dǎo)體表面粗糙度截面粗糙度如何測(cè)量？三維表面形貌儀不但能測(cè)量半導(dǎo)體表面粗糙度,還可測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

三維表面形貌儀產(chǎn)品圖：

三維表面形貌儀產(chǎn)品特性:

1，采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率

2，測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高

3，測(cè)量范圍廣，除了半導(dǎo)體表面粗糙度測(cè)量還可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

4，尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面

5，不受樣品反射率的影響

6，不受環(huán)境光的影響

7，測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理

8，Z方向,測(cè)量范圍大：為27mm

主要技術(shù)參數(shù)：

1，掃描范圍：50×50（mm）

2， 掃描步長(zhǎng)：0.1μm

3，掃描速度：20mm/s

4， Z方向測(cè)量范圍：27mm

4， Z方向測(cè)量分辨率：2nm

產(chǎn)品應(yīng)用：

MEMS、半導(dǎo)體表面粗糙度測(cè)量、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：由于采用非接觸的測(cè)量方式，避免了對(duì)被測(cè)物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析。配有多種可更換式非接觸光學(xué)傳感器，粗糙度最小測(cè)量范圍0-110μm，最大測(cè)量范圍0-50mm。

原理：

光學(xué)色差傳感器技術(shù)，采用共焦技術(shù)，通過(guò)光纖電纜，將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃?。傳感器頭部配有特制的透鏡，通過(guò)色差成像，將白光轉(zhuǎn)換為其顏色分量，在被測(cè)物體表面上形成的光斑，再經(jīng)由傳感器返回到光譜分析儀。通過(guò)測(cè)量共焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，就可精確的測(cè)量出距離的大小。這是基于透鏡不同由于的距離聚焦不同的顏色，而在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)，斑點(diǎn)的直徑保持不變的原理。